委員会
| 拠点諮問委員会 | |
| 江崎 玲於奈 | 横浜薬科大学 学長 (財)茨城県科学技術振興財団理事長 |
| 神谷 武志 | (独)情報通信研究機構 プログラムディレクター |
| 岸 輝雄 | (独)物質・材料研究機構顧問 |
| 坂内 正夫 | 情報・システム研究機構国立情報学研究所長 |
| 榊 裕之 | 豊田工業大学 学長 |
| 坂本 修一 | 文部科学省研究振興局基礎基盤研究課 ナノテクノロジー・材料開発推進室長 |
| 萩本 和男 | 日本電信電話(株) 先端技術総合研究所長 |
| ゲルハルト・アブストライ | ミュンヘン工科大学 教授 |
| フェデリコ・カパソ | ハーバード大学 教授 |
| 拠点経営委員会 | |
| 濱田 純一 | 東京大学 総長 |
| 松本 洋一郎 | 東京大学 副学長 |
| 荒川 泰彦 | 本機構 機構長 |
| 樽茶 清悟 | 本機構 副機構長 |
| 水嶋 繁光 | シャープ(株) 副社長執行役員 技術担当 兼 オンリーワン商品・デザイン本部長 |
| 江村 克己 | 日本電気(株) 執行役員 中央研究所長 |
| 小豆畑 茂 | (株)日立製作所執行役専務 研究開発本部長 |
| 富田 達夫 | (株)富士通研究所 代表取締役社長 |
| 菅原 充 | (株）QDレーザ 代表取締役社長 |
| 機構運営委員会 | |
| 荒川 泰彦 | 本機構 機構長 |
| 中埜 良昭 | 東京大学生産技術研究所 所長 |
| 中野 義昭 | 東京大学先端科学技術研究センター 所長 |
| 原田 昇 | 東京大学大学院工学系研究科長 |
| 樽茶 清悟 | 本機構 副機構長 |
| 今井 浩 | 東京大学 教授 |
| 岩本 敏 | 東京大学 准教授 |
| 高橋 明 | シャープ(株) 研究開発本部副本部長 基盤技術研究所長 |
| 田原 修一 | 日本電気(株) グリーンイノベーション研究所長 |
| 長我部 信行 | (株)日立製作所 中央研究所長 |
| 矢野 映 | (株)富士通研究所取締役 基盤技術研究所長 |
| 菅原 充 | (株）QDレーザ 代表取締役社長 |
| 機構企画委員会 | |
| 荒川 泰彦 | 本機構 機構長 |
| 樽茶 清悟 | 本機構 副機構長 |
| 今井 浩 | 東京大学 教授 |
| 岩本 敏 | 東京大学 准教授 |
| 高橋 明 | シャープ(株) 研究開発本部副本部長 基盤技術研究所長 |
| 田原 修一 | 日本電気(株) グリーンイノベーション研究所長 |
| 長我部 信行 | (株)日立製作所 中央研究所長 |
| 矢野 映 | (株)富士通研究所取締役 基盤技術研究所長 |
| 菅原 充 | (株）QDレーザ 代表取締役社長 |
| 教育・人材育成委員会 | |
| 高橋 琢二 | 工学系研究科電気系工学専攻／生産技術研究所 |
| 染谷 隆夫 | 工学系研究科電気系工学専攻 |
| 村尾 美緒 | 理学系研究科物理学専攻 |
| 町田 友樹 | 工学系研究科物理工学専攻／生産技術研究所 |
（updated at 2012/April/17）