東京大学 ナノ量子情報エレクトロニクス研究機構 量子イノベーション協創センター

装置マニュアル・記録用紙

アニール炉マニュアル(ファイルサイズ:51kB)
アニール炉使用記録(ファイルサイズ:32kB)
CCR RIE装置マニュアル(ファイルサイズ:75kB)
CCR RIE2号機マニュアル(ファイルサイズ:81KB)
CCR RIE装置使用記録(ファイルサイズ:83kB)
CCR RIE2号機使用記録(ファイルサイズ:83KB)
CCR EB装置使用マニュアル(ファイルサイズ:23kB)
CCR EB2号機使用マニュアル(ファイルサイズ:528KB)
CCR EB露光装置記録用紙(PDF/WORD)
臨界点乾燥機(CPD)使用マニュアル(ファイルサイズ:45kB)
スパッタリング装置(簡易マニュアル/記録用紙/作業記録/ターゲット交換記録
EB蒸着装置マニュアル(ファイルサイズ:29kB)
EB蒸着装置使用記録(ファイルサイズ:87kB)
電子顕微鏡 I 記録用紙(PDF/WORD
電子顕微鏡 II 記録用紙(PDF/WORD
オゾンアッシング記録用紙(PDF/WORD